In een artikel over de verdere schaalverkleining van chips wijst het Nederlandse magazine Techzine op de cruciale rol die lithografie daarin speelt. In de tekst wordt verwezen naar recente resultaten van imec en ASML over de ontwikkeling van de nieuwste generatie lithografietoestellen, de zogenaamde high-NA EUV lithografie. Met deze technologie komen chips van de 2nm technologiegeneratie vanaf 2025 binnen handbereik.
Gepubliceerd op:
15 oktober 2021
