High NA lab

Het doel van dit project is om de meedogenloze miniaturisatie in geavanceerde halfgeleidertechnologieën mogelijk te maken. De miniaturisatie van de componenten in halfgeleidercircuits maakt de productie van snellere, compactere en energiezuinigere chips en verdere digitalisering mogelijk. De verdere significante toename van de transistordichtheid in de komende acht tot tien jaar zal voornamelijk mogelijk worden gemaakt door: Vooruitgang in de lithografieprocessen en materialen die nodig zijn om patronen te creëren voor de nanometerschaalstructuren van een chip.
De introductie van nieuwe apparaatarchitecturen die verdere schaalvergroting van een standaard logische cel mogelijk maken